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SK海力士利川M16工厂发生氢氟酸泄露致3名工人受伤,称不影响DRAM生产

【新闻导读】据韩媒4月6日报道,半导体制造商SK海力士旗下的利川M16工厂发生了化学品泄漏事故,导致3名工人受伤,但相关DRAM产品的生产不会受到影响。

在报道中表示,事故发生在工厂5楼,泄漏的是氢氟酸。泄漏事故发生时,工人正在对5楼的设备进行检查,一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤,另有两名雇员也因吸入氟酸气体转移至附近医院。

SK海力士方面透露,泄漏事故是在检查设备时发生的,并且只是少量,已于当日处理妥善。三位工作人员接触时间很短只是轻伤,对生产经营状况没有影响。

氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色,有极强的腐蚀性和剧烈刺激性气味,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体,在半导体行业中,氢氟酸用于除去硅表面的氧化物,属于电路绘制Pattern的蚀刻工艺材料。

据悉,本次发生氢氟酸外泄事件的M16工厂是 SK hynix 新建成的一座工厂,据官网资料显示,M16工厂在2018年的11月动工,总投资金额达3.5万亿韩元,历时2年建成,到今年2月1日才举行了完工典礼。M16工厂还引进了极紫外光曝光机 (EUV) 进入产线,将主要用于生产 DRAM 产品。

目前M16工厂正在进行最后一批生产设备的装机与测试工作,为2021年下半年的正式量产做准备。 韩媒猜测, 此次化学品外泄事件发生是意外事件。至于真正的化学品泄漏原因,SK hynix表示将积极协助当地消防局做进一步调查。

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点击数:0 | 更新时间:2021-04-08 14:51:50
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